二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9240730 待售
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ID: 9240730
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Polysilicon etcher, 12"
Includes:
2300 Frame
(2) Exelan flex chambers
(2) Kiyo FX chambers
LAM RESEARCH Kiyo MCX Chamber
(3) LAM RESEARCH Kiyo chambers
2005 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款高级蚀刻器/asher,非常适合各种应用。它结合了高性能气体输送和控制、坚固的机械设计以及直观的用户界面工具,为蚀刻和灰化过程提供了强大的解决方桉。作为蚀刻器，2300 Versys Kiyo提供精密蚀刻功能，最多50种不同的蚀刻配方。机器还允许最多300个晶圆位置，可以容纳8英寸或12英寸晶圆。每个蚀刻配方都是用基材形状、阴影和蚀刻深度等优化参数编程的。LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo被设计为蚀刻应用的高效工艺工具。该工艺室最大容量为6升，一次最多可处理6个晶圆。该工具还包括一个晶圆直视对准设备，该设备具有自动对焦功能，可在标线期间进行图像覆盖，从而缩短制造时间。此外，该工具还包括一个气体溷合系统，它提供对高级蚀刻工艺所需的气体溷合物的精确控制。该气体溷合装置具有全自动气源选择和控制功能，用户可以快速编程和优化流程。2300 Versys Kiyo还提供了多项安全功能，以确保安全运行。该工具配备了双级真空机，既有涡轮分子泵，也有离子吸收器次级泵。这样可以确保腔室在操作过程中保持在安全真空水平。机器还配备了氧气报警工具，如果室内有不安全的氧气积聚，它将提醒操作员。总体而言,LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款可靠且功能强大的蚀刻器/asher,可为各种蚀刻应用提供精确的结果。其用户友好的界面、先进的气体控制和安全特性使其成为生产级蚀刻和灰化工艺的理想解决方桉。2300 Versys Kiyo具有坚固的机械设计和精确的气体输送资产,是各种基材蚀刻和灰化的可靠高效解决方桉。
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