二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9296974 待售
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LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是一款高性能、精密蚀刻和灰化设备,专为各种材料的高级自动化加工而设计。该系统非常适合工业应用和研发应用,在从半导体级应用到高温应用的基板上提供受控蚀刻和灰化操作。此批处理单元提供世界一流的生产率、可重复性和吞吐量,并与一系列化学解决方桉兼容。该机具有一个用于蚀刻和灰分金属化的加工室,它提供可变基板尺寸,最大可达6 "x 8",使其能够容纳更大的基板和更紧密的加工时间。它还具有先进的温度和压力控制功能,便于精确处理,并具有灵活制造功能的多种处理配方。Versys Kiyo配备了先进的蚀刻控制器,旨在提供高精度的处理和控制能力。其Auto-Etch Precision控制功能自动决定了最佳蚀刻启动时间,从而提高了蚀刻一致性和可重复性。它还提供了精密的工艺流程控制,可以精确管理溶液温度、气体流量、压力以及其他关键参数。该工具还具有用于独立和PC驱动操作的高自动化控制器。智能自动化可实现直观操作,而废气检测系统可提供先进的安全保护。此外,Versys Kiyo还配备了多层蚀刻(MLE)电源模块,允许在金属种类繁多的基板上蚀刻铜和金属层。此特性允许对复杂的电气结构进行高精度蚀刻。2300 Versys Kiyo是一种强大而高效的蚀刻和灰化资产,提供卓越的性能和灵活性,以满足即使是最苛刻的应用程序的需求。凭借先进的工艺控制、内置的安全功能和灵活的制造能力,Versys Kiyo将为广泛的工业和研发制造应用提供一致可靠的运行。
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