二手 LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo #9353167 待售

LAM RESEARCH 2300 Versys Kiyo是目前提供的最先进的蚀刻器和分类器之一。此工具旨在在半导体、MEMS和LED生产环境中的各种应用中提供精密蚀刻和灰化。该设备能够处理平面晶片和轮廓晶片，具有无与伦比的精度、速度和可重复性。该系统能够处理直径达200 mm的晶片,并提供许多不同的工艺参数,这些参数可根据操作员的要求进行调整。Kiyo提供低流量和高流量版本,以增加灵活性。低流量版本的流量为2-5升/分钟，高流量版本的流量为7-10升/分钟。Versys Kiyo的工艺室设计具有安全特性，并提供出色的等离子体均匀性，允许更严格的蚀刻公差和更好的边缘精度。Versys Kiyo的最大压力为200 Millibar （Mbar）,温度范围为15-40 C,可处理各种蚀刻和灰烬工艺,并具有手动过程控制选项以及集成过程控制功能。该机组还配备了众多安全功能，包括自动气体关闭、紧急排气机、位于机器前部的紧急停止按钮。这些功能确保操作人员在蚀刻和灰化过程中始终保持安全。此外,Versys Kiyo还配备了液晶显示器（LCD）触摸屏,可轻松访问设置、监控当前流程周期以及检索和分析数据以改进流程。该工具还配备了"软Vac"功能，可实现更精确、更高效、更安全的蚀刻和灰化工艺。总体而言,2300 Versys Kiyo是在要求最苛刻的半导体、MEMS和LED生产环境中进行精密蚀刻和灰化的理想工具。该资产结合了先进的等离子体均匀性、众多的安全特性和可靠的工艺控制能力，使其成为优越的蚀刻和灰化解决方桉。