二手 LAM RESEARCH 2300 #293618787 待售

LAM RESEARCH 2300是一个专门的蚀刻器/asher设计，精确蚀刻或粉刷各种材料的高精度。2300系列利用基于等离子体的蚀刻工艺来均匀地有效地去除达到所需深度的物料层。作为精密工具,LAM RESEARCH 2300系列具有先进的功能和精密的组件,可确保操作精度和可靠的性能。2300系列配备2"或4"热卡盘，用于处理各种尺寸的基板。卡盘由先进的控制设备提供动力，该设备提供动态蚀刻配方，并可能导致各种蚀刻速率和深度。机器的用户界面全面而直观，其3.2ghz处理器提供高速处理能力。LAM RESEARCH 2300系列利用多种蚀刻气体提供一致的结果，最大限度地减少污染，减少对基板的损害。2300系列还采用了获得专利的感应加热技术（IHT）,可确保在基板表面均匀蚀刻。温度控制精度为0.01°C, IHT系统优化了蚀刻均匀性,最大限度地减少了屈服损失.此外，LAM RESEARCH 2300系列还带有电子回旋共振（ECR），产生蚀刻气体和离子，用于浅层蚀刻制备。该机可配置不同的进料气体，以确保最佳蚀刻速率和深度。在安全和维护方面，2300系列有封闭式设计，以尽量减少接触有害气体。LAM RESEARCH 2300系列还配备了防静电涂层、音质窗以及综合安全单元。此外,该机器还具有全面的维护管理机器（MMS）,可提供可靠的度量和报告功能。总体而言,2300系列是一款高级蚀刻器/asher,旨在以精确、快速和高效的方式处理复杂的蚀刻应用。LAM RESEARCH 2300系列通过先进的特性和精密技术提供可靠的性能,以满足高级蚀刻应用的需要。