二手 LAM RESEARCH 2300 #293654544 待售

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ID: 293654544
Etcher Chamber (3) Kiyo chambers.
LAM RESEARCH 2300是一种行业领先的反应性离子蚀刻器和在加工室中操作的asher。这个全自动系统能够在蚀刻和灰化过程中实现精确的线性、均匀性和可重复性。2300专为半导体和研发行业而设计,具有灵活性和准确性,可满足各种工艺的需求。LAM RESEARCH 2300利用精密的淋浴头设计创建统一的蚀刻轮廓。这种结合的设计创造了一个更高效、更均匀的蚀刻过程,最终导致更精确的蚀刻深度和整个晶圆的均匀性。2300还被设计成一个完整的一体系统,提供更好的可及性和增强服务。通过一件式安装,晶圆保护区域之外的架空轨道将保持在最小总空间要求。LAM RESEARCH 2300配备了最新的工艺技术,包括高频和功率调制,能够在气流或压力之间进行蚀刻选择,可变车载气体成分,可变气流控制,可变功率控制。这些功能可一起用于优化针对特定应用程序类型的需求而定制的蚀刻过程。此外,2300还提供温度控制和均匀性,在整个晶片上提供高度精确的过程控制和均匀的温度分布,有助于可靠和可重复的过程。LAM RESEARCH 2300除了具有高度精确的流程外,还具有先进的安全功能。这些功能包括Virtual Guard Technology (VGT),一个嵌入式传感器系统,连续监视相对于晶圆保护区域的保护屏蔽,保护设备和用户免受使用不当造成的任何潜在危害。总之,2300提供了一种精确、可靠和自动的工艺,能够满足各种工艺的需求,包括半导体和研发行业。它的一件式设计和虚拟防护安全技术使其成为所有蚀刻和灰化需求的理想解决方桉,无论应用类型如何。
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