二手 LAM RESEARCH 2300 #293657750 待售

LAM RESEARCH 2300是专门为半导体和其他微电子应用而设计的蚀刻器/asher。2300利用先进的等离子体蚀刻技术为精密蚀刻最复杂的设备结构创造环境。它的工作原理是产生等离子体放电，从而在室内产生高温条件，从而实现清洁和精确的蚀刻过程。然后用户设置一组蚀刻参数,如时间、功率、气体成分和压力。然后,LAM RESEARCH 2300将自身配置为对被蚀刻的特定结构和材料进行最佳处理。2300使用两级电容耦合等离子体源和一Step™基板卡盘表之间的脉冲射频等离子体放电。这项技术允许在整个蚀刻过程中进行出色的工艺控制。LAM RESEARCH 2300装有LAM的智能处理控制器，用户可以通过系统的计算机界面控制和监控蚀刻过程。此控制器可以自动排除任何蚀刻问题,并向用户提供即时反馈。2300还能够在整个蚀刻器中产生均匀的等离子体密度,利用各种气体进行最佳的过程控制,并在物理特性和蚀刻剖面上为多个过程步骤提供高度的均匀性。它还包括横梁剖面图和产品质量维护的横向控制等功能。对LAM RESEARCH 2300进行了优化,以实现晶片的快速交付和有效运行,且维护最少。它采用业界领先的Precision Modular®轨道设计,使用户能够减少基板传输和蚀刻的时间,从而提高设备产量和更清洁的处理。总体而言，2300是一种多合一蚀刻和灰化器，具有先进的蚀刻和灰化技术，旨在为各种半导体和其他微电子应用提供精确和均匀的蚀刻工艺。它旨在提供最小维护的高精度蚀刻结果,同时保持最佳基板吞吐量时间。