二手 LAM RESEARCH 2300 #9032646 待售

LAM RESEARCH 2300是一种用于薄膜沉积和加工的最先进的蚀刻器/asher。它是一种高度精密的自动化精密电镀工具，可用于半导体、平板显示器（FPD）和薄膜光伏（PV）制造等行业的多种应用。2300提供了与可选的多晶圆平台配合使用时生成多达4,096个独立晶圆模式的能力。它还具有高级流程控制功能,包括预编程配方和实时流程监控,以及可支持多达8个流程站和多达8个流程室的模块化设计。LAM RESEARCH 2300配备了集成抗蚀剂输送系统、激光引导自动润湿性分析（LGS-AWP）等降低沉积成本、最大限度减少处理时间的先进工艺技术。该机器能够提供从预处理到后处理的完整电镀解决方桉,在各种晶圆尺寸上具有很高的可重复性和均匀性。其快速的热特性消除了手动晶片掩蔽的需要，而其固态电源则提供了出色的功率输出稳定性和配方的紧密可重复性。此外,通过预编程配方和实时流程监控,2300提供了出色的流程一致性和性能。对于先进的精密薄膜沉积和加工需要而言，它是一种可靠、精密的蚀刻/粉碎器选择。