二手 LAM RESEARCH 2300 #9176731 待售
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ID: 9176731
晶圆大小: 12"
优质的: 2002
Poly etcher, 12"
(2) Chambers
(12) Enhanced poly gas boxes:
(12) Unit 1660 and 1661 MFCs:
Unit 1661 tbd
Unit 1661 tbd
Unit 1661 CL2 250 sccm
Unit 1661 Tbd
Unit 1661 CF4 200 sccm
Unit 1661 tbd
Unit 1661 NF3 300 sccm
Unit 1660 He 200 sccm
Unit 1660 HBr 200 sccm
Unit 1661 N2 250 sccm
Unit 1660 Ar 100 sccm
Unit 1660 O2 200 sccm
P/N: 571-471052-001
Currently de-install and warehoused
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300是一款先进的、大容量的等离子体蚀刻器/asher。它设计用于在高度集成的全自动设备中加工各种基板。该系统具有最先进的过程控制功能,配有一整套传感器、控制器和软件,使用户能够以最高效和最具成本效益的方式处理其基板。2300能够为包括CMOS和MEMS设备、光刻胶、无铅合金和医药基材在内的一系列基材以及铜、铝、镍、钛等常见金属提供高质量的蚀刻/灰化应用。LAM RESEARCH 2300在大型基材区域提供高长宽比的蚀刻和清洁，也具有处理不同形状和大小基材的灵活性。2300采用了独特的低压蚀刻工艺，消除了过度的金属溅射，提供了卓越的蚀刻性能和均匀性，延长了泵的寿命，减少了基板上的残留物。该工艺可以进行调整，以满足基材和应用的具体要求，同时还提供了高选择性、重复性和重复性。该装置配备了一系列先进的功能，包括全自动的腔室到腔室流量控制机、具有流量和压力控制的高度可配置的配方驱动工具、实时过程监测以及具有可控流量的各种过程气体。此外，LAM RESEARCH 2300有一个自动化的气体溷合资产，允许操作员控制气体溷合，这是蚀刻效率和过程控制的关键参数。该型号还配备了先进的安全功能，提供了对工艺气体的安全密封，防止过高的工艺范围，并在工艺故障时自动关闭。总体而言,2300为各种基材和应用提供了高度可靠、灵活且经济高效的蚀刻解决方桉。
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