二手 LAM RESEARCH 2300 #9377279 待售

LAM RESEARCH 2300是一种为晶圆处理应用而设计的蚀刻/asher设备。它能够从各种尺寸的晶片中蚀刻、去除和沉积材料。2300系统为高吞吐量、可重复精度和低拥有成本而设计。LAM RESEARCH 2300 蚀刻器/asher可以处理55mm至200mm的晶圆尺寸。它能够沉积和蚀刻具有广泛蚀刻速率的材料，包括但不限于多晶硅、聚酰亚胺、氧化物、氮化物和金属。它还具有精密蚀刻功能,可帮助创建高质量的特性,并具有严格的过程控制功能。在特点上，该机组配备了多区真空基蚀刻室、氮氦气净化系统、提供高度精确输送蚀刻气体的低温泵、蚀刻用离子源以及高速基板输送机。该工具还包括可实现流程优化的现场诊断资产。2300的蚀刻均匀性在处理类似大小、厚度和材料的晶片时是高度可重复的。其真空膜沉积能力也使其能够对材料进行半选择性沉积。此外,该模型旨在为操作员提供安全的工作环境,并具有其他安全功能,如传感器设备,如果检测到不安全的情况,该设备将自动关闭系统。该单元还具有图形用户界面（GUI）,允许用户轻松监视和控制流程参数及其他设置。GUI还允许用户上传自定义配方以加快蚀刻过程。LAM RESEARCH 2300 蚀刻器/asher与同一高端供应商的任何其它机器一样可靠且支持良好。其易用性和精确的蚀刻能力使得它成为许多晶圆处理应用的首选。