二手 LAM RESEARCH 2300 #9407004 待售
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ID: 9407004
优质的: 2006
Etcher
EFEM
TM
AC Rack
Spare parts
(4) PTC LANTRA 1300
Load port
RF Cart
Gas frame
RPDB
Gas box
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300是由LAM RESEARCH Corporation开发的业界领先、先进的湿蚀刻/灰化设备。该系统专为处理高密度半导体晶片而设计，提供卓越的蚀刻一致性和均匀性。2300单元被设计为提供比以前可用的湿蚀刻系统更高的性能水平，并具有屡获殊荣的专利技术，提供业界领先的蚀刻速率、均匀性和准确性。LAM RESEARCH 2300包括一台提供各种工艺气体的化学输送机（CDS），以及两台用于精确控制基板温度的热交换器。CDS和热交换器均通过嵌入式控制器进行主动维护和优化,以确保可靠、可重复和一致的蚀刻性能。2300还包括一个装有先进蚀刻等离子体生成源的工艺室。这种独特的光源能够产生大量不同的等离子体类型和频率，并且与CDS和热交换器协同工作，在整个晶圆密度范围内提供优越的蚀刻结果。此外,LAM RESEARCH 2300工具易于安装和维护,具有多种安全和诊断功能,有助于确保可靠和安全的操作。该资产还与广泛的晶圆载体兼容，每天支持多达四百万个晶圆，为大规模生产提供了极高的吞吐量。总之,2300是一种功能强大的高级蚀刻和灰化模型,可提供最高级别的性能和可靠性。该设备结合了业界领先的硬件和软件,可确保在各种工艺和基板类型中获得卓越的效果,而其直观的设计和诊断功能可简化设置和维护。
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