二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX #9385701 待售
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已售出
ID: 9385701
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Dielectric etcher, 12"
Type: (3) FOUPs
User interface: Side and front monitor U
(3) Hermos Carrier ID
Light curtain with OHT / RGV
25 Slots input buffer station
UPS Circuitry system
Earth leakage breaker
TM-Subpanel cable: 100 ft
Calibration and alignment system
Air intake system: MEV
NSR8423 Hardware firewall
Differential pressure: ATM
4XX Series ESC
Flow meter: 10 GPM
Dual PM facilities
With temperature monitor
Generator: 60 MHz
Adjustable Gap
Dual zone ESC cooling
Standard conductance kit
Heated foreline manometer
(4) Non-Qual Pump
(4) Non-Qual 2 Ch TCU
Interconnect hardware:
Pump to TCU: 100 ft
TCU to PM: 100 ft
Pump to PM: 100 ft
EMO Cable:
TCU to RPDB: 50 ft
Pump to RPDB: 50 ft
Talon
Quick clean kit
(3) 2300 Gas boxes
(40) Jetstream gas lines
(8) Heated gas lines
(4) NSR MFC
(17) Facility interface boxes
2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex DX是一款蚀刻器/Asher,具有多种高级技术,可实现精确控制、灵活性和性能。该设备由LAM的Exelan Flex DX控制系统提供动力,该系统提供全面的软件集成和全面的功能,包括可选的O2 ETCH或高速率O2 asher操作、扩展的蚀刻控制、基于温度的过程控制和温度分析。该单元包括一个4位，42-in4，过程合格的炉膛与一个可移动的加热器组件，以最佳的均匀性。炉膛内衬陶瓷包覆耐火材料，最高工作温度可达1600°C，并选配250瓦射频发电机，用于VHF或ECR蚀刻。Exelan Flex DX软件允许轻松、精确的流程设置和模拟,并允许用户使用自己的自定义参数保存多达64个流程配方。集成气体输送机是无与伦比的，可以精确地引入最多四种气体，这些气体用单独的流量和净化来进行蚀刻或灰化。压力和流量以及O2和Ar水平可以立即通过集成流量控制器进行监测和调整。电解质催化剂模块使用户能够将他们的反应知识扩展到不仅仅是蚀刻或灰化之外，包括薄膜生长、电解清洁和扩散等过程。2300e4 Exelan Flex DX还包括一个先进的精密溅射模块，提供对目标和功率的独立控制，以确保溅射均匀性。该工具采用集成的快门关闭机构、便于样品处理的旋转室和四涡轮分子泵。这些功能结合在一起,实现了更高水平的表面准备,使用户能够使任何过程都更易于重复和可靠。
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