二手 LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX #293766466 待售
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ID: 293766466
优质的: 2018
Dielectric etcher
(4) 2300 Flex GX
2300e4 Platform
(4) Heated foreline manometer
(4) Chemraz vacuum valve
(4) NSR102216, RPDB for GX
(4) NSR102105, FLEX GX PM
Flex GX Quick clean kit
(4) 2300 Flex GX Jetstream gas box
3 Foup TDK
(4) Hermos carrier ID
WIDS Btm read
RGV/OHT PIO Sensor
Conditioning station (7 Wafer)
25 Slot aux buffer
VTM Pump: Edwards (EPX)
Vespel single sense
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100ft
Signal light tower, R-O-G-B Slim line
Light curtain
Input buffer corr res without Exh
Sys calibration and alignment
Service step for PM
VTM Robot lift
Robot CDM
Light tower buzzer
Metric to inch conv Fittings
APCS
NSR10702, N2 Flow monitoring on UP
Gas box:
(36) Jetstream gas line heated
(16) Gas line additional tuning
(4) Gas line non standard MFC
(9) NSR102690, Flex GX Gas line
(8) Flex GX Tuning Gas option
(1) Facility interface box
(17) Facility interface box
AFVi
2018 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX是一款为半导体制造工艺而设计的先进蚀刻/asher设备。这种最先进的工具为蚀刻和灰化应用程序提供了一系列功能,在生产环境中提供了高精度和可靠性。该系统结合了创新技术和人性化功能，以满足半导体行业的苛刻要求。2300e4 Exelan Flex GX具有支持各种蚀刻和灰化工艺的多功能平台,适合半导体制造的广泛应用。它配备了先进的等离子体源、气体输送系统和工艺控制技术，能够对选择性、均匀性、工艺速率等蚀刻参数进行精确控制。该单元在流程开发和优化方面提供了灵活性,使用户能够为其特定应用程序获得最佳结果。集成到LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX中的关键技术之一是Exelan Flex高级控制机，它提供实时监控和调整过程参数。此工具提供卓越的流程控制功能,使用户能够实现跨晶片的高流程一致性和可重复性。Exelan Flex控制资产还支持高级流程配方,并能够轻松与其他流程工具集成,从而实现无缝生产工作流程。2300e4 Exelan Flex GX专为高生产率和吞吐量而设计,具有高级自动化功能,可缩短周期时间并提高运营效率。该型号配备了多腔室配置，允许对多个晶片进行并行处理，从而实现高吞吐量和最大限度地提高设备利用率。该设备还具有快速的腔室间传输时间和高效的晶圆处理机制，以尽量减少闲置时间并提高整体生产率。此外,LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX还集成了高级流程监控和诊断功能,以确保最佳性能和流程稳定性。该系统配备了现场计量工具，用于对关键流程参数进行实时监测，从而能够快速检测流程偏差和调整，以保持流程完整性。该设备还具有高级故障检测和预测算法,可帮助防止过程中断并最大程度地减少停机时间。总体而言,2300e4 Exelan Flex GX是一款尖端蚀刻机/asher机器,为半导体制造过程提供高级功能。凭借其创新的技术、用户友好的功能和高的生产率，该工具非常适合满足半导体行业的严格需求。无论是用于蚀刻、灰化还是其他工艺应用,LAM RESEARCH 2300e4 Exelan Flex GX都能为高产半导体生产提供一致、可靠的性能。
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