二手 LAM RESEARCH 2300e4 Flex DX #293592612 待售

LAM RESEARCH 2300e4 Flex DX
ID: 293592612
晶圆大小: 12"
优质的: 2015
Oxide etcher, 12" 2015 vintage.
LAM RESEARCH 2300e4 Flex DX是一款为半导体织物设计的蚀刻器/asher。该设备是一种小巧、高性能的蚀刻/灰烬,能够处理各种应用程序。它与洁净室兼容的设计和高速的过程控制使得它成为介电、多晶硅和光刻蚀刻/灰化的理想选择。该系统还为蚀刻/灰化应用程序提供精确且可重复的结果。2300e4 Flex DX是一个多气体、多腔室的蚀刻器/asher单元,允许用户根据自己的特定要求自定义工艺参数。它与多种材料兼容,能够对需要高功率腔室和灵活的参数设置的工艺进行蚀刻/灰化。该机使用户能够快速准确地调整腔室压力、射频功率、反应时间等过程变量。2300e4还设有自动化制图工具,允许用户选择和控制多种气体类型和室内居住时间。该资产提供了一个高性能平台,可以在几秒钟内实现目标蚀刻速率,同时始终提供可重复的结果。对于蚀刻厚度至关重要且工艺变化必须最小化的工艺来说,这是一个理想的选择。2300e4还支持各种流程大小和配置,使用户能够根据需要向上或向下扩展蚀刻速率。LAM RESEARCH 2300e4 Flex DX提供出色的性能、灵活性和安全性组合。它强大的设计、自动化的过程控制以及广泛的支持过程配置使其成为半导体行业用户的理想选择。它能够快速、准确地调整过程变量,确保用户能够获得精确、可重复的蚀刻结果。
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