二手 LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX #9252292 待售

LAM RESEARCH 2300e4 KIYO MCX是一种多室蚀刻器/asher，设计用于半导体工业中的体积生产，用于硅片的蚀刻和灰化。它提供了一个可靠、高度自动化的解决方桉,可满足深度蚀刻和超精细灰泥的需求。KIYO MCX提供高效的气体利用率、高吞吐量和高工艺质量。KIYO MCX旨在提供超精细的蚀刻和灰化工艺,这对于高下降速率、间隙形成和阶梯覆盖至关重要。它融合了LiPS（光刻、等离子源）和IMPRIME（电离金属板反应堆）等先进技术，提供了高精度、严密控制蚀刻速率的高端蚀刻工艺。KIYO MCX还采用了新的富含氙气的F2化学，以增强工艺性能和灵活性。KIYO MCX配置有两个双室和一个单室。每个双腔室分别设计用于蚀刻工艺和灰化工艺。位于这些双腔室之间的单室配置用于物理清洁和粘附清洁。KIYO MCX腔室利用ICP（感应耦合等离子体）、Sub TIP（亚热电离）和外腔源（ECS）等最新技术提供优异的性能。所有三个腔室都集成到一个单元中,并由自定义运动控制器集中管理。KIYO MCX还提供了广泛的控制和安全功能。它配置了内部安全传感器和客户可调节的地板级紧急停车。它还配备了先进的热监测和隔离系统，以保护过程免受热冲击。此外，KIYO MCX是为高效利用气体而设计的，可降低气体消耗和成本。此外,它的高级软件还提供流程监控、配方执行、分析功能和数据记录系统。KIYO MCX 蚀刻/asher系统是专门针对半导体行业的量产需求而设计的。通过结合先进的技术如LiPS、IMPRIME、富铵F2化学、ICP、Sub TIP和ECS，能够以极高的精度提供卓越的蚀刻/灰化工艺。此外,它还提供了广泛的控制和安全功能,这对于大批量生产过程安全至关重要。最后,它的高级软件提供了流程监控、配方执行、分析功能和数据记录系统,以最大限度地提高流程效率和节省成本。