二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293751704 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX是一种蚀刻器/asher,专为多种工艺而设计,在各种基材上。它配备了一个2650 mm x 1950 mm的大型加工区，允许它一次最多容纳三个全尺寸300 mm晶圆。硬件设计为包含四个进程区域、集成多进程（IMP）模式和8个可选区域配置。2300e5设计用于提供高级工艺控制和低金属化漂移（LMD）功能,并具有可选的室内光学传感器,可实现更高的工艺重复性和均匀性。该系统采用自动化送货设备，可方便快捷地处理基板，并具有先进的安全联锁系统，可降低操作过程中人与腔室部件接触的风险。2300e5具有多种功能,可实现快速高效的流程。这些特点包括实时调整射频、气体和温度控制、快速热退火（RTA）单元和大尺寸真空泵，以方便快速撤离。这台机器是高度可定制的，有一系列的等离子体源，电源，和工艺配方。Exelan Flex EX还提供全面的监控和报告功能,包括实时显示过程变量、自动校准和自动间隙和焦点校准、现场蚀刻速率监视器以及RTP程序。可以通过CCom和串行接口或通过以太网连接的用户界面访问2300e5的内置硬件、软件和控制。2300e5 Exelan Flex EX旨在为用户使用多种工艺在多个基板上提供高效可靠的蚀刻和灰化工艺。它结合了先进的硬件和软件，非常适合各种应用，从先进的半导体加工到工业印刷和涂层。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX具有处理多达三个全尺寸300 mm晶圆的功能,并具备工艺控制、某些分析和监控功能、快速退火和自动化交付工具等功能,是一款功能广泛、功能强大的蚀刻器/Asther。