二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX #293758911 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex EX是一款用于先进半导体前端器件制造的下一代蚀刻器/asher。这款蚀刻器/asher将市场领先的Exelan单晶片蚀刻技术与全新的多模式腔室设计和几项性能增强相结合。这个先进的蚀刻平台具有大量集成的过程模块,可提高灵活性、吞吐量和产量。Exelan Flex EX 蚀刻器/asher具有广泛的工艺能力,可用于各种具有宽工艺窗口的蚀刻和灰烬应用程序。该系统采用高能源和蚀刻源的单晶片直接源配置，提供卓越的蚀刻均匀性和产品质量。其专利的Active Asher技术在灰烬操作过程中提供了卓越的端点控制。其先进的多模式腔室旨在实现过程的灵活性，并以每晶圆的低成本促进更大的体积吞吐量。此外,Exelan Flex EX还提供直观的专有控制系统,以确保在蚀刻和灰化操作过程中易于使用和控制的准确性。此控制系统提供了一整套流程监控、控制和诊断功能,可用于全面的流程管理。它还配备了集成的硬件和软件工具，以便能够快速适应不同的流程需求和应用。Exelan Flex EX 蚀刻器/asher是包括超高密度器件制造在内的先进半导体生产环境的理想选择。其强大、可扩展的平台旨在提供可重复、可靠的结果,同时降低成本和维护要求。2300e5 Exelan Flex EX具有高效率、卓越的工艺能力和卓越的工艺控制,是当今最先进的半导体器件制造实现优化性能和产量的理想选择。