二手 LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX #293668506 待售

LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX（Chemical Mechanical Planarization）蚀刻器/asher是一种革命性的蚀刻工具，用于将复杂的特征蚀刻成多种材料。它是一种专门为研发和生产应用而设计的多室蚀刻器和asher设备。2300e5 Exelan Flex FX利用化学机械平面化工艺（CMP）在任何材料中均标明高度准确且一致的统一特征,对尺寸或形状没有限制。该机配备了一个双蚀刻室，能够产生高达0.075微米厚的特性，并结合一系列离子轰击和湿法或干法化学蚀刻。腔室可以设置为单个蚀刻、两个蚀刻和单个修剪或组合蚀刻/修剪操作。所有这些都可以就地完成,而无需切换资源。机器还具有内置晶圆跟踪系统，使用户能够监督正在进行的蚀刻过程，并审核过程和蚀刻配方的跟踪。甚至可以设置软件来监视过程的端点,以确保晶圆被正确蚀刻。该蚀刻器/asher设计有一个安全互锁单元，可消除未经授权而发生晶圆断裂或篡改的任何风险。水箱和水泵系统对每种蚀刻剂都是隔离的，确保不存在交叉污染或不同蚀刻剂意外溷淆的可能性。LAM RESEARCH 2300e5 Exelan Flex FX最显着的特性之一就是其先进的自动化功能。整个过程由一台控制机器管理,该机器能够与其他制造控制系统集成,并有助于确保可重复的结果。该工具还配备了一个OPCUA通信协议，用于连接到其他本地和远程机器。2300e5 Exelan Flex FX是一款用途广泛、可靠的蚀刻器/asher资产,专为生产、研发应用而设计。该机结合了先进的精密特性和自动化能力，使其能够以高精度和重复性蚀刻复杂特性。这为制造商提供了更大的灵活性和成本效益,使他们能够在短时间内完成复杂的蚀刻过程,且浪费最少。