二手 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly #293809868 待售
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ID: 293809868
晶圆大小: 12"
优质的: 2017
Etcher, 12"
3-FOUP TDK
Light curtain with OHT/RGV
25-Slot aux buffer (corr res)
Conditioning station (7 wafer)
User interface: Side and front monitor
UPS Circuitry
Earth leakage breaker
Cable: TM-Subpanel, 100 feet
Signal light tower, r-o-g-b slim line
VTM Pump: EDWARDS (EPX)
Light curtain
APCS
SVID and Facility interface board
VTM Breakout board/cover
ATM Robot removal kit
Light tower buzzer
NSR10702, N2 Flow monitoring on UPC
NSR101435,TM UPS Bypass kit with Maratho
VTM Robot Lift
Ionizer kit
Robot CDM
STRIP45 and OES Endpoint option
Stainless steel with 5/8-1/2 reducer
2700 l/S BOCE Turbo pump
Gas feed: Top and side
Bias match: 1.5kW HVBP Sync
NSR100999, Chamber exhaust duct
NSR101420, FWD Build Kiyo EX for 173 LTC
NSR101836, Kiyo EXP Chamber process manom
NSR102151, NSR for Kiyo EXP
PM Maint: Quick clean kit
Gas box:
(3) 9-Gas configurations (jetstream)
(21) Jetstream gas line
(9) Heated gas line
AFVi
JS Gas box
(3) NSR100802, GL14 C4F8(100), TG1C4F6(100H)
Facility interface box (system)
(17) Facility interface boxes (per line)
(2) Future PM Containments
2017 vintage.
LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly是一款高度先进的蚀刻/asher设备，专为微电子工业中的半导体材料精密高效加工而设计。这款尖端工具是LAM RESEARCH知名2300系列的一部分,以其在半导体制造过程中的高性能、可靠性和多功能性而闻名。2300e5 KIYO EXP Poly整合了一系列创新技术和功能,在蚀刻和灰化过程中实现卓越的控制和均匀性。其主要亮点之一是KIYO感应耦合等离子体（ICP）源，它提供高密度等离子体，具有卓越的过程稳定性和可重复性。这种先进的等离子体源对于在晶片表面实现精确的蚀刻轮廓和均匀的材料去除至关重要。该系统配备了用于蚀刻和灰化各种材料的扩展工艺能力，包括半导体器件制造常用的聚合物薄膜。其增强的工艺灵活性允许优化各种蚀刻化学和配方参数，以满足不同设备设计和材料的具体要求。LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly具有高度可配置的腔室设计,具有多种晶圆处理选项,能够无缝集成到不同的生产环境和处理工作流程中。该单元同时支持单晶片和批处理模式，为运营商提供了根据吞吐量和工艺要求选择最合适方法的灵活性。在过程控制和监控方面，2300e5 KIYO EXP Poly配备了先进的端点检测能力、实时过程监控工具以及配方调优功能。这些功能使操作员能够实时监控蚀刻/灰化过程的进度,即时调整过程参数,并确保从运行到运行的一致和可靠的结果。此外，这台机器的设计侧重于生产力和成本效益，包括快速腔室清洁协议、高效气体输送系统和自动校准机制等功能。这些增强有助于最大限度地减少停机时间、降低维护成本以及提高半导体制造设施中的整体刀具利用率。综上所述，LAM RESEARCH 2300e5 KIYO EXP Poly是一款最先进的蚀刻/asher工具，结合了先进的等离子体加工技术、灵活的腔室配置，以及坚固的过程控制特性，在半导体制造中提供高性能和可靠的聚合物材料加工。凭借优越的工艺控制、卓越的均匀性和多用途的能力，这款工具是寻求实现高质量制造成果、加快下一代器件开发的半导体企业的宝贵资产。
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