二手 LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX #9252293 待售

LAM RESEARCH 2300e5 KIYO MCX是目前市面上的一种蚀刻/asher设备，用于多种应用。它是一个多室系统，有四个集成的工艺室，提供蚀刻和真空辅助化学清洗。这个单元有一个非常大的腔室，为元件和组件提供宽敞的空间，允许处理更大的基板和独特的形状。它可以装载一个或多个附加组件，如集成的气泡晶片处理程序，以增加便利和生产力。该机基于可靠的直流中空阴极等离子体源，提供了改进的均匀性和对蚀刻速率和选择性的精确控制。它可以在一系列蚀刻化学中实现均匀的蚀刻速率，并且设计用于对各种材料进行非常快速的蚀刻。这种蚀刻器/asher还利用了可调的吹扫控制功能，使其能够管理等离子体"大理石"并提高碳污染清除过程的性能。它具有直流和射频电源,能够精确控制蚀刻速率。KIYO MCX还能够利用一系列溶液进行化学清洗。这可以在真空辅助过程中进行批处理或串联操作,与批处理过程相比,可实现集成清洁,不需要特殊的设置步骤。与传统的间歇式清洗相比，真空辅助化学清洗可大大提高清洁质量。该工具配备了控制资产，可提供自动实时快速响应过程控制等高级功能，从而提高了一致性和更好的效果。它还提供自动配方控制以减少工艺的可变性,以及用于监控和处理蚀刻和清洁工艺的大型触摸屏液晶显示器。简而言之,2300e5 KIYO MCX是一种可靠的蚀刻器/asher模型,可用于快速、均匀地蚀刻多种材料,同时使用直流和射频电源。它还提供高效的真空辅助化学清洗能力，具有先进的自动过程控制。这使得KIYO MCX成为需要快速、一致和可靠结果的生产环境的绝佳选择。