二手 LAM RESEARCH 2300e6 Flex FX #293826568 待售
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ID: 293826568
晶圆大小: 12"
优质的: 2019
Etcher, 12"
(6) Flex FX Process chambers
(6) Gas boxes
Power box
Transfer chamber
2019 vintage.
LAM RESEARCH 2300e6是为精确的过程控制和卓越的性能而设计的下一代蚀刻器/asher。该设备具有高精度蚀刻和粉刷图样的能力，能够精确形成图样并减少图样缺陷。该系统设计可靠，使用方便，通量高，颗粒污染小。2300e6提供了广泛的加工选项，包括高速蚀刻、低温蚀刻、等离子体沉积和射频等离子体蚀刻。该装置具有先进的仪器，用于精确的样品处理和控制，如自动装载机、晶圆处理机器人、温度控制环境和粒子探测器。这台机器还包括一个计算机控制的集成过程控制工具，用于监视、优化和控制每个过程步骤。它有助于对蚀刻时间、压力、温度和气体进行高精度控制。资产利用经过改进的技术基础设施，包括高频电源、温度控制器、气压监测仪和IC负载单元。它还具有集成的诊断，允许用户监控和调整工艺参数，以提高蚀刻性能。此外，LAM RESEARCH 2300e6还配备了先进的高速成像工具，用于无损过程中的检查。2300e6适用于显示器和半导体元件等器件的大批量生产,以及需要精确蚀刻到亚微米级的复杂项目。该工具可确保对蚀刻和灰化过程进行更大程度的控制,从而在成品微电路设备中实现尽可能高的收率。LAM RESEARCH 2300e6能够将精度保持在1纳米以内，并提供200埃的出色分辨率。由于这些先进技术,2300e6在各个工艺领域提供了异常可靠的性能。对于需要精确、可重复蚀刻结果的厂商来说，这是一个极好的选择。该模型适用于广泛的蚀刻和灰化工艺，设计用于处理大批量生产与严格控制蚀刻和灰化工艺。
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