二手 LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX #293631692 待售

LAM RESEARCH 2300e6 Kiyo EX是一种先进的蚀刻器/asher设备,专为先进的铜制金属氧化铝图桉制造而设计。该系统设计有一个机械对准单元，使高级处理与先进的模式能力成为可能。它提供各种安全的工艺选择，如化学钝化、金属蚀刻和先进的清洁。该机还包括可变基板偏置控制和高级射频控制等几种高级工艺控制工具。它采用高功率射频发电机，提供低至几十kHz的可调范围和宽扫描频率范围。它有四个独立的气源，使用户可以从各种沉积气体中进行选择。另外，它有四个双链射频线圈，一个PID温度传感器和一个闭环射频幅度和功率控制。蚀刻器/asher工具具有8英寸的电极,可实现更高的分辨率和均匀性,并具有可选的10英寸9英寸和11英寸选项。它拥有多达三个独立的气源，一个设计有铝制车身和先进的定位资产，以提高可靠性。再者，该机组还配备了压力和温度传感器，以及支持洁净室操作的自监控器。它有液体输送装置、真空室清洗装置和冷却剂分析模型。2300e6 Kiyo EX设备设计用于半导体制造最先进的应用开发。其特点包括低功耗、高端基板支架和先进的射频系统。该单元允许用户高效、准确地对高级结构进行建模。其广泛的工艺选择和独立的气源使得它成为先进的金属氧化铝图案应用的绝佳选择。