二手 LAM RESEARCH 2300e6 #9218169 待售

LAM RESEARCH 2300e6是一款高性能、经济实惠的蚀刻和灰化设备。它旨在提供广泛的蚀刻/灰化能力，从反应性离子蚀刻（RIE）到化学气相沉积（CVD）以及所有其他蚀刻和灰化技术。该系统可配置的模块化体系结构允许用户自定义其工具以满足其应用程序的精确处理要求。此外,2300e6还提供了一种在光刻环境中快速、高效且可靠的高速、低成本蚀刻/灰化解决方桉。该单元配有一系列工艺工具，包括离子蚀刻（IE）、电子回旋共振蚀刻（ECR）腔室等沉积工具，以及氢和氧等离子体蚀刻腔室。它还具有全自动批处理控制器,提供完整的并行子系统控制.这允许运算符同时配置多个进程参数,并根据需要快速修改这些参数,以实现所需的蚀刻/ashing参数。LAM RESEARCH 2300e6提供了一系列蚀刻/灰分食谱,使用户能够定制其加工食谱。此外,计算机还包括多种诊断工具,使用户能够控制蚀刻/灰化过程。这些工具包括光谱发射分析、热电偶测量、厚度测量、薄膜扫描电子显微镜等等。2300e6 蚀刻/ashing工具设计具有较高的吞吐量和成本效益。由于其快速的周期时间和允许用户修改流程配方的模块化体系结构,该资产是商业、通用和高级蚀刻/灰化应用程序的理想选择。它的高性能特性和过程可靠性也使其非常适合原型设计、过程开发和研究应用。除了工艺功能外,LAM RESEARCH 2300e6还配备了集成的前端界面软件,可完全控制所有操作。这允许用户轻松设置其蚀刻和ashing配方,修改配方的多个步骤的参数,并监视流程。软件还提供了一个直观的图形界面来简化模型的操作。总体而言,2300e6是一款功能强大、经济实惠的蚀刻器/蚀刻器,具有一系列高级流程功能和直观的用户界面软件。由于其快速的循环时间和修改配方的能力，这种设备非常适合许多蚀刻和灰化应用。