二手 LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP #293649521 待售

LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP是一款专为生产先进半导体材料而设计的全自动蚀刻器/asher。设备配备了先进的过程控制功能，以确保精确、可重复的过程。2600 E6 Flex FXP的能力在先进半导体材料的开发上是无与伦比的。LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP Etcher/Asher在整个蚀刻和灰化过程中具有最高水平的基材重复性。该系统的核心是晶圆传输机制，它在整个蚀刻和灰化过程中提供了较高水平的可再现基板运动和对齐。该单元可实现精确、可重复的尺寸控制和过程一致性。该机设计用于超高分辨率等离子体蚀刻和灰化在平面表面或深沟和侧壁进场的应用。2600 E6 Flex FXP还提供高浓度离子源和用于蚀刻的高压辉光放电,并结合高质量的等离子体灰化,以实现最高的工艺性能。强烈的等离子体为各种应用提供了处理各种晶片类型的灵活性。该工具还利用多个等离子体源来实现高蚀刻速率和宽处理窗口。对于最佳的过程控制，LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP还提供了一整套先进的过程控制反馈和控制功能，包括端点控制和实时温度/压力反馈。2600 E6 Flex FXP是任何先进半导体材料制造环境中必不可少的工具,它提供了可重复和可重复的过程以及高水平的过程控制。LAM RESEARCH 2600 E6 Flex FXP具有卓越的基板蚀刻/灰化性能、先进的工艺控制反馈和卓越的工艺精度,是先进半导体生产的必备工具。