二手 LAM RESEARCH 300NX #9257375 待售

LAM RESEARCH 300NX是一种用于各种半导体制造工艺的蚀刻器和粉碎器。300NX与一系列液体、浆液和气体化学物质兼容,能够进行等离子体蚀刻和等离子体灰化,是中小型生产的理想工具。它设计用于处理复杂的晶圆几何形状，工艺室尺寸为18 "x 18" x 24"，处理面积为16"。LAM RESEARCH 300NX拥有独特的淋浴头设计，利用旋转挡板板有效地管理化学级联，使所有晶圆表面均匀。此外，它还具有垂直可调的亚环境冷却环，以降低晶圆温度，从而提高了工艺的可重复性。设备可以完全自动化和远程控制，所有配方和参数都可以存储，以便于召回和检索。300NX还配备了最先进的观测系统和用户友好的图形用户界面，对蚀刻器进行不断的监控、优化和维护。为了提高生产效率,LAM RESEARCH 300NX配备了CenterTrack晶圆处理装置,该装置旨在提高晶圆吞吐量并缩短周期时间。它还有一个三级进程分区机，允许使用同一晶圆执行多达三个设备进程。此外,自动控制程序还提供了许多流程控制工具,如子流程控制器和循环控制器,可用于微调流程优化。300NX的占地面积为61 "x 198" x 103",具有环境控制工具,可确保工艺室内的大气稳定。它配有负载锁以防止污染，符合RoHS标准。总而言之，LAM RESEARCH 300NX是复杂半导体制造工艺的高级蚀刻器和粉碎器。