二手 LAM RESEARCH 384T #9383400 待售

LAM RESEARCH 384T是一种蚀刻器（又称asher），主要适用于半导体工业中使用的清洁、开发和蚀刻基板。该设备的特点是具有主射频基座的不锈钢工艺室，通过其创造必要温度和功率水平的能力产生等离子体。该工艺室被封闭在真空包络内，可维持在高达10-7 torr的真空水平。已努力设计一个尽可能紧凑的系统，在主加工室之外有辅助部件，如辅助室。该单元还配备了多栅极偏置电源模块,为蚀刻过程提供了必要的电源要求,功率高达2000瓦。这种功率可按0.2 kW的步长调节，机器也可以被编程为同时提供多个输出功率。该工艺室采用自上而下的方法，从而能够更快地加工和更容易地清除气态副产物。此外，该工具还包括一个隔断的狭缝板，可以调整以允许选择各种气流，为蚀刻过程提供进一步的灵活性。该工艺室采用一种组合气源，可为二次真空室提供多种不同的气源。这允许更快的处理时间,以及更有效地利用蚀刻过程。该资产还包括一个先进的节气门调节模型，允许用户精确调节腔室中工艺气体的分布。该设备采用背面冷却喷嘴设计，高效去除过程热量，允许更高的功率水平和更低的温度运行。最后,系统具有远程诊断选项,并具有Modbus RTU通信接口,便于远程监视和控制设备。总体而言,384T是一款高级蚀刻器/asher,旨在为用户提供高效、准确且经济高效的半导体基板处理解决方桉。该机的设计支持高温、高达2000瓦的射频功率和众多的气源,其先进的控制功能提供了方便的监控和操作。