二手 LAM RESEARCH 4000 Series #9169567 待售

LAM RESEARCH 4000系列蚀刻器/Asher是一种精密、高频、自动化的等离子体蚀刻设备，专为生产和研发而设计。它提供了一个直观的用户界面，为大多数介电和金属薄膜提供无化学蚀刻。该系统采用LAM RESEARCH专利的X-Cs技术，提供先进的蚀刻精度和对工艺参数的控制。4000系列具有先进的轴向型顺序等离子体源。该源确保在最短的时间内获得最高质量的蚀刻结果，而先进的夹紧机构则将晶片固定在真空条件下，提供稳定的加工平台。设备的集成等离子体控制子系统能准确管理所有工艺参数，确保晶片的蚀刻质量一致。其控制软件允许用户轻松编程和存储食谱以供将来使用。除了出色的蚀刻能力外,LAM RESEARCH 4000系列还具有出色的电源和气流管理功能。这样可以确保一致的蚀刻速度和稳定性,同时最大限度地提高机器的总性能。4000系列配备经过LAM RESEARCH验证的传感器技术，提供蚀刻室的反馈控制，提高腔室的重复性，并保持长期腔室性能。其先进的真空控制工具提供稳定的真空性能，并增强污染控制。LAM RESEARCH 4000 Series Etcher/Asher凭借其广泛的材料蚀刻能力、高质量的结果和直观的用户界面，是生产研发中满足高精度蚀刻要求的理想解决方桉。