二手 LAM RESEARCH 4400 #9292700 待售

LAM RESEARCH 4400是一款先进的生产蚀刻器/asher，旨在满足最苛刻的微电子器件制造应用的需求。它采用双光束等离子体增强型CVD （PECVD）技术，加上专有的气体输送设备。这种表面调节器提供了硬质电介质或微空腔的均匀且可重复的蚀刻或去除过程，并提供了高精度的等离子体抗蚀剂灰化。4400采用模块化设计,可实现最大的灵活性和可扩展性。它的智能模式识别系统确保准确、统一的结果，同时它的大预包装篮子允许操作之间方便和高效的转移。这种蚀刻器/asher具有较大的源到基板距离,可提高寿命并提高磁场均匀性,从而实现高蚀刻速率和低蚀刻深度变化。此外，其可选的双极调频电源技术能够去除缓慢扩散的聚合物和抗蚀剂。LAM RESEARCH 4400还具有自动和半自动晶片处理能力，便于快速加载、卸载和掩蔽。其直观的基于Windows的用户界面提供了可靠的通信和便利。4400能够执行各种蚀刻和灰化应用，如MEM和NVM应用、SIR（同时进行氧化物蚀刻和去除）、聚栅极蚀刻、硬面膜开蚀、聚氧化物蚀刻、聚氧化物条、氧化物条、氧化物平面化、多孔蚀刻、多表面蚀刻和硬蚀刻。这种蚀刻器/asher提供了广泛的配方功能,并允许可调节的步骤组合来调整暴露时间和气流/压力。此外,它还具有低流程组合成本、高吞吐量和改进的周期时间。为确保操作安全,LAM RESEARCH 4400提供了一个全面的监控单元,其中包括压力、温度和腔室清洗传感器。这种蚀刻器/asher还为低温气体提供了可选的支持，并提供了高分辨率的镜片机以实现对准精度。总体而言,4400提供了无与伦比的性能和工作效率级别,使其成为当今市场上最好的蚀刻/灰度系统之一。