二手 LAM RESEARCH 4400B #293747957 待售
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LAM RESEARCH 4400B是一种用于微电子学和半导体制造的蚀刻器/asher工具。它专门用于在多种基材材料如硅片和铜箔上曝光光刻胶。该工具通过利用先进的先进等离子体技术提供精确的蚀刻和蚀刻选择性结果，提供了卓越的均匀性和可重复性。4400B 蚀刻器/asher具有创新的双腔室设计，提供了最佳的等离子体控制和优越的工艺选择性。该工具包括一个用于产生等离子体的上部入口天线室，以及一个用于实际蚀刻过程的均匀气体输送的下部淋浴室。天线室有一个6英寸的无味平面表面，以确保没有屏幕均匀性问题。另外，上室有两个电子环流源，它们是该过程的高频交流电的来源。LAM RESEARCH 4400B的下室是过程均匀性的关键区域。淋浴室具有同心度调节特性，保证了蚀刻过程中气体的均匀输送。它还有一个吸声系统，以减少蚀刻过程中的反射和噪声。4400B 蚀刻器/asher配备高级过程控制软件来控制蚀刻过程。它可以精确地进行各向异性蚀刻和选择性区域蚀刻等高级工艺。该工具还可以进行等离子体掺杂，可用于改善基材的微观结构和电性能。LAM RESEARCH 4400B工具具有高可靠性设计,是大批量生产的理想选择。该工具设计为全天候运行,并提供卓越的吞吐量设计。该工具设计方便维护，具有模块化等离子体源和低拥有成本。4400B 蚀刻器/asher是各种半导体和微电子制造应用的理想选择。它旨在在不影响质量、一致性和成本的情况下提供卓越的工艺性能。
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