二手 LAM RESEARCH 4400B #293749164 待售

LAM RESEARCH 4400B Etcher/Asher是用于处理集成电路（IC）基板的半自动设备。4400B在各种制造过程中提供精确的化学传递和控制。它包括一个独特的，多用途的设计，允许它作为一个蚀刻或灰化系统。LAM RESEARCH 4400B的主要组成部分是其获得专利的垂直晶片级。该级用于保持和旋转基板在可调的速度和角度，允许优化蚀刻和灰化结果。舞台的设计也允许蚀刻工艺根据基板的要求量身定制。4400B配有用于测量基板均匀性的精确电阻和电容传感器。此外，多区气体歧管既能有效输送气体，又能精确控制蚀刻和灰化参数。LAM RESEARCH 4400B配有两个运动控制系统，可完全控制基材的加工。第一种是沿垂直轴提供快速、精确运动控制的线性轨道单元。这可以实现出色的边缘轮廓控制,并允许晶片级快速准确地移动到x轴和y轴的任何位置。第二运动控制机是一种旋转级刀具，它允许晶片级在保持对基板轮廓和厚度的控制的同时精确快速地旋转。4400B还配备了各种高级功能,使用户能够优化蚀刻和灰分处理。这包括执行隔离点蚀刻和深蚀刻轮廓的能力。它还包括一个高级软件套件，允许用户对自己的食谱进行编程，并将其存储在数据库中。此外,LAM RESEARCH 4400B还包括自动安全功能,如停电备份和互锁资产。4400B Etcher/Asher是一个可靠和通用的模型，非常适合IC基板加工。其专利设计结合了精确的运动和气体控制、先进的安全功能以及集成的软件套件，使用户能够优化他们的蚀刻和灰烬工艺。它的灵活性允许快速和高效的基材加工，导致更高的产量和更低的成本。