二手 LAM RESEARCH 4400B #9145836 待售

ID: 9145836
晶圆大小: 8"
Etcher, 8".
LAM RESEARCH 4400B是一种高精度蚀刻器,适用于各种工业应用.这款强大的工具为客户提供了最新的蚀刻和灰化技术,具有快速的蚀刻速率、高产工艺性能以及延长的耐用使用寿命。4400B利用可以同时运行的两个独立蚀刻和ashing进程。第一个过程使用在弧室中生成的等离子体在目标材料上创建蚀刻图桉。第二个过程使用定时反应性过程,该过程可以使材料变灰并剥离到所需的厚度。灰化过程中,物料沉积在腔室外,沉积速率受到严格控制,以确保均匀蚀刻。该机器通过均匀的蚀刻和灰化过程确保样品的可重复性,采用坚固的阴极驱动电路将所需的电流水平传递到每个电池。这种均匀性可以通过车载计算机进行调整和监控。通过内置显示器和各种软件选项使数据采集和过程监测成为可能,用户可以根据需要修改过程参数和进行实验。LAM RESEARCH 4400B还提供可选的工艺补充。它包含了多种可用于提高蚀刻和灰化性能的高性能工艺源。此外,该机还能支持加热和冷却以增加控制程度。冷却可以设置为高达40°C,以提高工艺的可重复性,而加热控制则允许用户在需要时将温度从0-450°C快速调整。4400B旨在提供最佳的灵活性和易于维护。它具有易于更换的组件,允许用户快速进行任何必要的维修或调整。此外,LAM RESEARCH 4400B还提供各种端口位置和配置,使机器能够轻松适应各种要求。4400B为工业用途提供了一个全面的蚀刻和灰化解决方桉。LAM RESEARCH 4400B从高精度的蚀刻和灰度到高度的灵活性和易于维护,是提供一致、可靠性能的完美工具。它易于编程,并确保可重复性,从而确保更高的过程产量和卓越的成本节约。
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