二手 LAM RESEARCH 4420 XL #293758321 待售

LAM RESEARCH 4420 XL Asher是一种先进的湿式板凳蚀刻设备，用于半导体晶片的蚀刻、背面加工和深层地下蚀刻。蚀刻器有两个可以同时使用或独立使用的腔室。蚀刻室的设计既可实现高质量的蚀刻，又可实现高通量。第二室用于后蚀刻活动，如氧化物钝化、后蚀刻清洗等加工步骤如热氧化或TMAH清洗。蚀刻器通过多语言用户界面进行控制，并带有操作员提示和可针对特定任务量身定制的程序。前面板或触摸屏设计为方便程序设置和控制蚀刻工艺。LAM RESEARCH 4420XL Asher能够处理尺寸从3英寸到8英寸的晶片,并且与300 mm晶片兼容。该蚀刻器配备了多达48个定时或压力出口，用于快速、可变蚀刻。它支持多种气体系统，可用于标准气体清洁化学以及特定工艺的特殊气体。中央气体控制器确保气体的一致流量输送，使用户能够实现蚀刻的重复性和重复性。该系统配备了多种原位温度控制功能，如可编程温度剖面控制、闭环热传感、按需冷却等。连续压力蚀刻功能允许控制蚀刻剖面,而内置压力传感器则保持对腔室压力的控制。4420 XL Asher在蚀刻室中设有一个集成的冲洗站,以实现最大的工艺灵活性。该站设计用于广泛的应用，包括蚀刻后清洁和/或氢氟化清洁。该单元还具有一个干后站,用于额外的蚀刻后清洁步骤。4420XL Asher也是为安全和环保而设计的。该机设计方便有害物质的密封，减少了气体流量和通风需求，减少了废物管理需求。蚀刻器还提供了改进的安全功能,例如互锁门和清除功能。总体而言,LAM RESEARCH 4420 XL Asher是一款功能丰富的蚀刻器,非常适合进行高质量的蚀刻和背面处理。该工具提供精确的蚀刻控制、原位温度控制、集成冲洗站以及多种安全功能，使其成为广泛应用的可靠、通用的蚀刻工具。