二手 LAM RESEARCH 4420 XL #9399006 待售

LAM RESEARCH 4420 XL 蚀刻器/asher是一种低成本的解决方桉,可满足许多蚀刻和灰化需求。该设备广泛应用于半导体和MEMS行业的蚀刻和灰化工艺。它能够处理高达6英寸（150毫米）的晶圆，最大压力为100 Torr。对于低成本的系统来说，蚀刻速度和精度也相当令人印象深刻，因为它可以蚀刻，并且在300毫米/分钟的高速下，标准化端点精度为每晶圆± 0.003英寸（0.08毫米）。LAM RESEARCH 4420XL是一个模块化单元,这意味着它可以通过选择特定部件（如气源、气体输送系统和腔室）来针对用户的特定需求进行定制。该机能够用SF6、CF4、O2、CF4/O2、Ar和HBr等多种气体进行蚀刻和灰化。它还具有几种先进的蚀刻技术，如RIE、磁控管和OBIRCH，允许用户根据自己的特定工艺需求定制工具。4420 XL还包括一系列高级工艺控制工具,包括自动调谐和基板匹配,这些工具有助于确保工艺配方得到优化。资产还包括两个诊断工具，允许用户监控蚀刻和灰烬过程，包括端点探测器和原位气体分析仪。4420XL还具有许多安全功能,包括RF联锁模型,该模型可防止晶圆在不满足某些条件的情况下被处理。此外,设备还配备了紧急停止按钮和内置真空电源控制模块,这有助于确保除非系统准备就绪且安全,否则不会执行任何过程。总体而言,LAM RESEARCH 4420 XL是一个出色的蚀刻器/asher单元,是一个可靠且经济实惠的选项,可满足许多蚀刻和灰化需求。