二手 LAM RESEARCH 4420 #9137679 待售

LAM RESEARCH 4420是一种最先进的蚀刻器/asher,用于满足设备制造的最严格要求。4420是一种功能齐全的设备,具有集成的平台,可容纳一个过程室、排气室以及所有必要的组件,用于过程控制操作。使用LAM RESEARCH 4420,用户可以在基板上创建图样,而无需物理掩蔽或沉积材料。因此,4420是从原型制作到生产的各级制造的通用工具。LAM RESEARCH 4420工艺室包含许多功能,旨在确保基材的精确蚀刻。该腔室采用高温公差设计，并配有CCD摄像头，用于实时过程监控和分析。可以同时运行两个独立的过程，并且可以密封腔室以获得最佳的半导体级真空。4420包含复杂的控制系统和加工气体。控制系统由一个计算机控制的平台组成，该平台调节等离子体过程参数以及过程和清除气体的流速。该装置使用的工艺气体包括碳氟化合物、氯气、氟气和氧气，以及几乎所有蚀刻应用的其他元素。LAM RESEARCH 4420 蚀刻器/asher还配备了先进的排气系统。这减少了排气机的颗粒物和化学污染，最大限度地减少了有害物质向环境的释放。4420的一个有效的安全特性是感应炉，它在任何工艺之前用于晶圆烧掉。这样可以确保在蚀刻过程开始之前完全去除所有残余薄膜。此外,刀具还具有温度过高的关闭功能,如果晶圆温度上升到危险水平,则该功能将停止该过程。LAM RESEARCH 4420 蚀刻器/asher在蚀刻过程中提供卓越的精度和控制。其高科技部件保证产品质量，安全特性既保护操作员又保护环境，废气资产保持大气清洁。因此,该模型是各级设备制造的理想选择。