二手 LAM RESEARCH 4420 #9144790 待售

LAM RESEARCH 4420
ID: 9144790
晶圆大小: 6"
Polysilicon etcher, 6".
LAM RESEARCH 4420是一款先进的Asher/Etcher,旨在为各种材料提供精确的模式转换。它是一个功能强大的工具,使用户能够创建和改进高精度的电气和机械结构,从而实现更快、更精确的制造和装配。4420配备了高端等离子体源,能够产生极其均匀、密密麻麻的轨道,可用于精细结构的高精度、错综复杂的蚀刻。该源还可以产生非常高的离子束电流密度,从而为高精度电路级模式提供极短的蚀刻时间,从而加快产品的上市速度。LAM RESEARCH 4420还提供了很高的精确度和蚀刻速率,精确度高达3%至50微米,蚀刻速率高达18微米/秒。这是集成电路制造等应用的理想选择,它能够以非常高的精度快速生成复杂的阵列。此外,4420还配备了零梁偏转系统,可确保光束路径一致,从而实现更精确的图样传递,并防止对被蚀刻材料造成任何潜在损坏。LAM RESEARCH 4420还提供了广泛的功能,使用户可以更好地控制其流程。例如,快速扫描空气脉冲功能使用户能够控制蚀刻速度、蚀刻速率和光束稳定,而集成真空系统可确保在清洁的气氛中进行蚀刻。另外,4420能够处理各种基材,从晶圆和薄膜基材到厚膜基材和石英基材。总体而言,LAM RESEARCH 4420是一款先进的Asher/Etcher,其设计目的是提供精确和精确的模式转移,并配有广泛的基材。它提供了高度的精确度和蚀刻速率,以及广泛的功能,如快速扫描空气脉冲功能和集成真空系统,使用户能够对其过程进行高度控制。4420适用于任何需要快速、精确模式传输或蚀刻的应用。
还没有评论