二手 LAM RESEARCH 4420 #9198093 待售

LAM RESEARCH 4420 Asher/Etcher是一个高性能的干蚀刻系统，旨在提供最佳的可重复性、过程控制和吞吐量。它配备了先进的功能，包括高速热控制、蚀刻速率控制和原位清洗能力。它还为多个应用程序提供了自动化操作和流程灵活性。4420能够加工各种基材，包括玻璃、聚酰亚胺和半导体晶片等。它配备了先进的石英蚀刻管，提供优越的温度、压力和均匀的流量控制。先进的蚀刻机制如双等离子体模式、变频功率控制和深度蚀刻的长脉冲持续时间，使得处理能力比单级蚀刻更大。LAM RESEARCH 4420的多室设计实现了各向异性和各向异性蚀刻。各向异性蚀刻模式采用三步蚀刻工艺，具有较好的蚀刻速率控制。它还具有优化的腔室设计,以确保一致的蚀刻性能.4420还具有不含氟氯化碳流体的自动清除系统,旨在确保高可重复性、过程控制和吞吐量。它配备了一个有效的真空系统，整个工艺室均匀。此外，LAM RESEARCH 4420还得到软件的支持，该软件允许数据采集、远程诊断和编程多种应用程序的配方。它还具有一整套传感器和诊断程序,可实现最佳的过程控制和质量保证。总体而言,4420是一款功能强大、经济实惠的蚀刻器/asher,具有高级功能,可确保一致性、可重复性和过程控制。它还通过易于使用的界面和全面的客户支持服务,为各种应用程序提供了快速的流程灵活性。