二手 LAM RESEARCH 4420 #9233411 待售

LAM RESEARCH 4420是一种蚀刻灰泥设备，专为高效和生产性的等离子体蚀刻和干灰工艺而设计。它能够支持多达四个工艺模块，为半导体生产的恶劣环境提供灵活、通用的配置。4420提供模拟和数字等离子体源,从而提高了过程控制和应用程序的有规律的可变性。LAM RESEARCH 4420也被修改用于高密度等离子体工艺，以及SiOF蚀刻和后灰清洗。4420具有节能设计，降低了能耗和运营成本。它具有大面积的流程模块,可实现比同类系统更高的流程吞吐量。它还具有自动优化等离子体参数的智能子系统，提供了独立于配方选择的蚀刻结果的稳定性和均匀性。LAM RESEARCH 4420提供了广泛的流程功能和完整的解决方桉灵活性,从而降低了拥有成本。它可以容纳多种基材和工艺，如单晶片或批次模式蚀刻、台面蚀刻、多步蚀刻、条带蚀刻、钝化、模具升空、灰后清洗。凭借精确的特征识别和指挥，4420可以在AMS、IPE、RIE、Ozone、UV或UVPlus HiP-CVD等工艺中提供高速蚀刻。与以前的系统相比,LAM RESEARCH 4420提供了更好的模块化和可扩展性功能,大大降低了复杂性并消除了昂贵的控制。其集成控制系统提供了增强的流程管理，允许复杂配方的实现可靠性和可重复性。在安全和环境性能方面，4420是为了满足最严格的要求而设计的。它具有多种安全特性，包括多个排气监测点和一个防火装置。此外，该机设计为尽量减少维护和停机时间，符合SEMI S2和S8安全准则。最终,LAM RESEARCH 4420为当今严峻的半导体生产挑战提供了灵活可靠的蚀刻和灰化。它提供卓越的流程性能和更高的生产效率,是现有应用程序和新应用程序的可靠选择。