二手 LAM RESEARCH 4420 #9262592 待售

LAM RESEARCH 4420是为高通量、灵活生产或研究过程而设计的单晶片、批量asher或蚀刻器。4420平台可实现高达15nm/min的蚀刻速率,并允许用户执行各种专门的蚀刻过程,包括离子束蚀刻、黑硅蚀刻、抗蚀条和氧化物蚀刻。它提供了先进的过程控制和监控功能，并为精度、可靠性和过程重复性而设计。设备由几个主要组成部分组成；一个紧凑的真空室，多气体输送系统，视线视觉单元，敏感器旋转机器和控制器。真空室是由不锈钢和铝等材料构成的，这些材料经过了热优化和结构优化以用于其应用。腔室设计以RIE（反应性离子蚀刻）工艺为中心,包括初级和次级蚀刻阶段,以提高吞吐量。多气体输送工具使多种气体能够融入蚀刻过程。这样可以在定义复杂的工艺配方时提供更大的灵活性。它还可以实现比单一气体工艺更高的蚀刻速率。视线视觉资产是一种内置视觉硬件的光学显微镜，实时监控蚀刻过程并提供过程反馈，以确保过程的准确性和可重复性。磁感器旋转模型使用变速能力的无刷直流电动机和RS-485控制器来优化整个晶圆的蚀刻速率均匀性。控制器是设备的大脑，负责控制过程变量，提供准确和可重复的结果。它具有直观的触摸屏界面、基于Windows的图形用户界面以及用于远程访问和数据检索的以太网连接。LAM RESEARCH 4420是一种先进的蚀刻器/asher,能够执行各种具有精确度、可靠性和过程重复性的蚀刻过程。其高吞吐量和灵活的工艺配方使其成为大批量生产和研究应用的理想工具。