二手 LAM RESEARCH 4420 #9401523 待售

LAM RESEARCH 4420 蚀刻器/asher是一种先进的汽相蚀刻和清洁工艺工具，旨在为敏感的半导体基板提供完美的轮廓和表面饰面。高效、经济高效的系统具有多个等离子体源、精密基板处理、基板调理以及过程监控能力。4420 etcher/Asher是专门为解决半导体器件领域的成代复杂性所带来的制造挑战而设计的。LAM RESEARCH 4420 蚀刻器/asher采用了具有独立反应性离子蚀刻（RIE）和远程等离子体清洁（RPC）腔室的双腔室设计。这为用户提供了多种流程选项,使他们能够调整流程参数以最佳地执行各种应用程序。该工艺室由多晶硅体和盖子、不锈钢衬里和石英敏感器组成，并带有钛包覆电极。4420是一种低压工具，工作在0.2-0.4 mTorr的底压范围内。LAM RESEARCH 4420还为最终开发人员提供工艺参数和配方开发的高级控制。可以定制工艺配方以满足任何给定应用程序的特定要求。4420的先进系统控制实现了对蚀刻选择性和速率、蚀刻深度和轮廓、攻角和目标表面光洁度的精确控制。LAM RESEARCH 4420中的RPC室可实现电介质和材料的低损坏蚀刻和清洁过程,并配备可选的端点检测器以增强过程控制。4420也为用户提供了独特的好处。优点包括低能脉动和快速的温度控制，使工艺室内的温度均匀性更好，产量更高。LAM RESEARCH 4420还兼容了广泛的食谱，简单的用户界面让开发定制食谱变得轻松。4420是一款用途广泛且可靠的蚀刻器/蚀刻器,具有广泛的加工能力。这种先进的系统可确保最高级别的精确、可重复的蚀刻和清洁性能,为用户提供完美无瑕的流程结果和较低的拥有成本。