二手 LAM RESEARCH 4428 #293750155 待售

LAM RESEARCH 4428是一种高速、高精度的等离子体粉碎器/蚀刻器，用于表面和深度蚀刻应用。配备了创新的可编程蚀刻深度轮廓，这款设备非常适合广泛的生产和研究应用。该系统提供单晶片和批处理功能，允许根据各种蚀刻和清洁需要定制切口参数。该装置的核心是一台高纯度惰性和反应性气体输送机，以提供清洁、可靠和可重复的蚀刻或清洗过程。为确保高度精确的蚀刻过程，气体管理工具可以编程，以便在蚀刻或清洁过程的任何时刻提供所有反应性气体的精确、可重复的溷合。通过准确控制气体输送和流动，可以实现精确的表面剖面深度和蚀刻剖面。4428专为工业级蚀刻和清洁而设计，可以加工多种基材和尺寸，而不会遇到任何问题。易于使用的可视化编程模型允许用户定义他们想要的特定蚀刻参数。该设备还提供强大的激光干涉测量选项，以实现系统内校准和精度控制。所有参数都以电子方式记录并存储到设备的机器日志中,从而提供蚀刻结果的记录。该工具还配备了两个独立的、自动关闭的百叶窗，防止晶圆与蚀刻气体直接接触。这一功能在蚀刻和清洁过程中提供了额外的安全性和安全性，因为它积极防止与等离子体有关的事故。该资产还能够对整个过程中的蚀刻室气压、基板温度和气压水平进行自我监测。总体而言,LAM RESEARCH 4428是一种易于使用、可靠且可编程的蚀刻器/灰化器,适用于广泛的生产和研究应用。其优化的气体输送管理、自动快门、激光干涉测量和模型校准功能，使其成为市场上最准确、性能最稳定的蚀刻和清洁系统之一。