二手 LAM RESEARCH 4428 #9130367 待售

LAM RESEARCH 4428 蚀刻/asher设备是一种单室等离子体活化工艺工具，设计用于开发和制造下一代半导体芯片。4428 蚀刻器/asher系统使用先进的化学工艺，在广泛的材料中，包括聚酰亚胺、多晶硅和氮化物层，创造出精确完美的蚀刻形状。蚀刻的形状范围从简单的蒙版和接触层到更复杂的特征，如沟槽、插槽和阶梯式特征。LAM RESEARCH 4428 蚀刻器/asher单元还提供直接等离子蚀刻工艺，以提高蚀刻结构的深度。4428测量刚好超过四英尺宽、四英尺深和三英尺高,并包含一台C300 Plus控制器操作机器和一台内置液晶显示器。该单元通过其自成一体的工具提供了批量和单晶片工艺的灵活性。溷合室设有石英淋浴台，提供快速、可重复的均匀性。LAM RESEARCH 4428非常适合创建精确的过程控制,因为它与流行的光刻过程兼容。4428有多种内置的加工气体以最大限度地提高蚀刻效果，如氯、氙和氮，还有一种真空控制资产来控制压力和溷合适量的加工气体。LAM RESEARCH 4428还提供多种工程配置和室内材料,以及存储工艺配方的功能,使用户能够重复配方并可靠地生产高质量的零件。4428还具有屏幕上的密码访问控制功能,可提供更高的安全性,并允许用户查看流程参数、监控气流以及控制来自中央触摸屏界面的压力级别。直观的界面允许准确和方便的操作,以及用于详细跟踪和错误报告的完整数据记录功能。总体而言，LAM RESEARCH 4428 蚀刻/asher是一种高度可靠和用户友好的模型，可满足广泛的蚀刻需求。4428凭借其先进的处理能力、准确、可重复的结果以及易于操作，是寻求卓越控制和可重复效果的半导体制造商的完美设备。