二手 LAM RESEARCH 4428B #9302933 待售
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LAM RESEARCH 4428B是一款独特的IO 蚀刻器/asher设备,结合了高性能处理和高级蚀刻功能。4428B用于湿蚀刻和干蚀刻过程,是生产和维护半导体器件层的有力工具。LAM RESEARCH 4428B采用独特的双室设计,提供湿蚀和干洗功能。经过验证的PR4000控制器增强,可提供完整的对齐和定位精度。一个可选的冷却系统既可用于批量操作,也可用于手动操作,并且在惰性大气蚀刻过程中包括一个氮管线连接。该单元可以手动或自动运行模式操作,用户友好的图形界面使得用户友好的操作。该机采用精密IVC(阀内控制)洗涤和实时蚀刻监控技术,实现了良好的工艺控制。腔室由易于清洁和维护的高品位、耐腐蚀的不锈钢构成。它还配备了一个大容量输送工具,提供多达5台具有自动装载能力的电平定位器。4428B包括一系列行业标准的安全功能,以确保人员安全,包括全面的接地电路、自动腔室清除功能和压力监测资产。内置数据管理程序,提供过程记录和存储多达500个晶圆配方。LAM RESEARCH 4428B是高容量、高精度蚀刻的理想解决方桉。它提供可靠的性能、可靠的安全功能,以及内置在紧凑设计中的高级过程控制功能。它是当今快速发展的半导体产业的理想工具。
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