二手 LAM RESEARCH 4450 #9226299 待售

LAM RESEARCH 4450是一种用于半导体材料中高纵横比结构的深各向异性蚀刻的蚀刻器/灰化器。4450是一种通用蚀刻器/灰化器,能够在湿法和干法过程中进行蚀刻或灰化。它有一个数字石英控制器和高功率射频发生器，用于精确控制工艺参数，以及多种工艺化学方法可供选择。LAM RESEARCH 4450提供了多种优于手动蚀刻或灰化工艺的优点,包括高可重复性、精确控制和灵活性。它被设计成一个单一的工具，具有蚀刻或灰烬大部分半导体材料所必需的所有特征，包括硅、砷化移铵和磷化铵。4450还能蚀刻金属、陶瓷、玻璃等材料。LAM RESEARCH 4450具有紧凑的设计和单一紧凑的入侵装置,允许紧密的设计过程。它还配备了一个基于微处理器的控制器，能够对蚀刻和灰化过程进行监控和参数设置。4450还有一个综合排气系统，用于处理过程中的任何气态或气溶胶副产品，还有一个真空泵，用于在两次运行之间撤离腔室。LAM RESEARCH 4450的主要特点是它的高功率射频发生器，它能够对蚀刻和灰化参数进行精确和可重复的控制。它带有多种工艺化学物质，可用于湿法和干法中的蚀刻或灰化。频率、脉冲宽度、占空比等参数均可精确调整，以实现优异的工艺控制。4450是一种多种材料中的高长宽比结构蚀刻或粉刷的通用工具。其紧凑、精密的设计使其成为深度各向异性蚀刻和灰化的可靠选择。其数字控制器和射频发生器能够精确控制蚀刻和灰化过程，其多种化学特性为广泛的应用提供了充分的灵活性。