二手 LAM RESEARCH 4500 #293600180 待售

LAM RESEARCH 4500是一种先进的蚀刻/刻蚀设备,旨在高效地在半导体基板上生产各种蚀刻图样,精确度高。这种蚀刻系统配备了先进的气体输送装置，可以支撑多种气体，包括SF6、O2、C4F6、NF3和C3F8。它还包括一个负载锁定室和一个原位清洗室以及一个等离子体源，使用户能够在一个操作周期内执行蚀刻操作。该机具有广泛的工艺能力，包括原位清洗、等离子体活化、蚀刻和表面钝化。这是由于其-70°C至+300 °C的大加热范围，使其适合不同的材料，如Si、SiO2、GaAs和InP。此外,它还提供了对诸如温度、RIE（无功离子蚀刻）功率、腔室压力和时间等蚀刻参数的精细控制,从而能够产生控制良好的纵横比的精确蚀刻特征。4500提供卓越的晶圆吞吐量，得益于其高吞吐量的负载锁室设计，使其适合大批量生产环境。该工具配备了多种安全机制，包括板载压力监测资产和自动清除模型，因此提供了特殊的安全和环境保护。它还包括一个集成晶圆检测模块和一个隔离喷嘴，以减少过程引起的颗粒。此外,LAM RESEARCH 4500还提供广泛的工艺分析和数据控制,使用户能够微调蚀刻工艺并实时监控结果。可选的Wi-Fi连接使得远程访问和控制设备成为可能，而集成触摸屏显示器则允许用户直接与蚀刻过程进行交互。这样就可以快速轻松地修改参数和监控结果,从而提高端到端流程效率。4500为各种生产环境提供了可靠且经济实惠的蚀刻/刻蚀解决方桉。其先进的设计、工艺能力和安全特性使其成为蚀刻和钝化操作的理想选择。