二手 LAM RESEARCH 4500 #9092962 待售

LAM RESEARCH 4500是一种湿式蚀刻/灰化设备,是一种用途广泛且功能强大的机器,可满足各种蚀刻和灰化应用的需要。该系统非常适合光掩模和标线制造、MEMS和集成电路（IC）生产。该装置由一个闭环、自动化的加工室以及一个集成的石英容器构成。这样可以确保整个过程中的温度、压力和蚀刻/灰化化学保持精确。这种复杂的闭环工艺还有助于确保过程可重复性保持较高的水平,从而使4500成为任何生产线中的可靠产品。该过程可以根据客户的确切规格进行调整,从而为各种应用程序提供更高的吞吐量要求。LAM RESEARCH 4500 蚀刻器/asher具有多种功能,可增强流程一致性和性能。它具有气动控制蚀刻气体和灰化气体的独立隔离气体输送系统，以及对蚀刻/灰化过程进行精确温度控制的液体输送机。这样可以确保每个蚀刻/灰化周期尽可能精确可靠,从而使客户更容易获得所需的确切结果。此外,该工具还利用一系列高级集成诊断工具来实现快速、轻松的过程监控。这有助于确保蚀刻/灰化过程在整个生产运行过程中保持准确和可重复。资产还包括高频线圈模型，允许客户进行精确调整，以确保任何蚀刻/灰化过程的理想结果。总体而言,4500蚀刻器/灰化器是一种用途广泛且可靠的蚀刻/灰化设备,非常适合各种光掩模和标线制造、MEMS和IC生产要求。它具有精确的过程控制、卓越的过程监控以及高度可定制的过程设置,使其成为任何生产线的绝佳选择。