二手 LAM RESEARCH 4500 #9137678 待售

LAM RESEARCH 4500是一款高性能的蚀刻器/asher，专为热和非热蚀刻工艺而设计。它采用了获得专利的双单极泵（DMP）技术，能够对苛刻的材料如砷化​​的脱硫进行低压干蚀。4500的腔室尺寸为600mm X 450mm X 400mm，并配有气动直线快门定位系统，将快门稳固定位，进行精确的局部蚀刻。系统还有一个自动对准的机器人手臂，带有两个手动附着点，可以容纳高达150毫米的晶圆大小，允许精确和可重复的蚀刻。LAM RESEARCH 4500设计为提供高度可靠和可重复的蚀刻。它具有独特的双单泵浦（DMP）技术,允许在单个工艺步骤中同时进行Monova （EiM）蚀刻和复杂蚀刻型材的反应性离子蚀刻（RIE）。这使用户能够在较低的压力下实现较高的蚀刻速率,从而降低材料消耗并缩短加工时间。4500还配备了集成源加热器控制器,可以精确控制源温度,从而最大限度地减少材料消耗,并最大程度地减少过程重复性的损失。除了DMP之外，LAM RESEARCH 4500还具有高密度等离子体（HDP）和端点真空（EPV）等附加技术，以改善蚀刻效果。HDP产生尺寸很小的高离子化等离子体，以从腔室中提取更多的离子，导致更高的蚀刻速率和改善的均匀性。同时，EPV确保蚀刻室快速泵送到所需的真空压力，从而减少基板表面的不均匀蚀刻。4500专为安全高效的操作而设计,具有直观的点击用户界面。该系统主要用于制造复杂的微电子器件，如逻辑、内存和射频组件。它为各种类型的材料提供了可靠的、高可重复的蚀刻工艺，其中包括砷化氙（GaAs）、硅（Si）、硅氙（SiGe）和硅在绝缘体上（SOI）。