二手 LAM RESEARCH 4500 #9226300 待售

LAM RESEARCH 4500是一种用于半导体晶片各向同性和各向异性蚀刻的蚀刻器/asher设备。它是融合了机器人技术和湿法化学工艺等先进技术的尖端设备。4500的腔室尺寸为36英寸,额定功率为500瓦,可在各种生产环境和蚀刻要求下提供出色的性能。该系统有两个工艺室：预蚀刻室，在该室进行沉积和化学蚀刻；和蚀刻室，其中晶圆被放置在一个各向同性蚀刻场。除了提供可靠蚀刻的安全环境外，该单元还提供原位射频蚀刻源、原位清洗机、气体歧管、自动晶圆处理工具等其他组件。该资产被设计用于硅片的高性能蚀刻，以及砷化氙（GaAs）和其他半导体。可以定制蚀刻轮廓以优化精度、速度和复杂性。通过使用自动化过程和原位射频蚀刻源,模型提供了加工工程师所需的性能和可靠性。LAM RESEARCH 4500能够在250°C（482 °F）至650°C（1202 °F）的温度范围内运行。它还利用先进的工业运动系统提供准确的结果，提供可重复的性能。该设备包括陶瓷/金属/塑料室，以抵抗晶片的任何潜在污染。最后，4500的综合过程监控系统为生产环境提供了可靠性和跟踪。此单元简化了数据收集过程,从而使工程师与机器之间的通信更加快速轻松。LAM RESEARCH 4500为半导体晶片的各向同性和各向异性蚀刻提供了快速、准确和可靠的解决方桉。