二手 LAM RESEARCH 4500 #9298520 待售

LAM RESEARCH 4500是来自LAM RESEARCH Corporation的先进等离子蚀刻设备。它是一种技术先进的高速蚀刻系统，用于沟槽蚀刻、精细图桉、闸门蚀刻、高长宽比蚀刻等先进蚀刻工艺。该单元使用针对应用程序的特定需求量身定制的创新技术。其功能包括高生产率、灵活性、可靠性和易用性。该机具有先进的蚀刻室，可支撑各种基材和材料。它具有优化的工艺均匀性，提供卓越的晶片质量。该腔室的设计提供了一个多功能、可调的平台，可以同时容纳高温和低温蚀刻过程。腔室还支持O2、CO2、N2、Cl2等多种气体，非常适合各种材料。该工具配备了多项优化蚀刻性能和吞吐量的先进技术。它采用高性能电子回旋共振（ECR）离子源和离子束聚焦来控制蚀刻轮廓、侧壁角和线宽。它还具有集成的现场过程监控、自动过程调整和控制以及直接采样功能,以实现准确的故障检测和过程优化。该资产由基于Windows的集成控制器提供支持,能够连接到工业自动化模型。它得到了一个全面的文档包以及来自流程和环境监视器的实时反馈的支持。综合用户手册包括安装、维护和服务说明,以及操作、结果分析和故障排除说明。4500旨在在要求最苛刻的蚀刻应用中提供卓越的性能。它是用最具成本效益的资源生产尽可能高的产品产量的理想工具。对于那些寻找高性能蚀刻设备的人来说，LAM RESEARCH 4500提供了无与伦比的性能和优异的效果。