二手 LAM RESEARCH 4500 #9311439 待售

LAM RESEARCH 4500蚀刻/灰分设备是一种全自动、超高精度的蚀刻/灰分系统,能够生产具有单一工艺步骤和视线晶片跟踪的高质量晶片。该单元的设计具有显着的灵活性，可在一个过程中完成多达四个处理步骤。该机器有两个工作站，每个工作站都包含蚀刻铁磁材料源和电光室，该电光室包含一个高轴内压板，可执行各种处理操作，包括化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）。它支持基于配方的晶圆加工,包括标准、高密度和分层技术,温度可达30 °F。该工具还具有带有化学分配器和快速作用控制旋钮的终端效应器，能够快速、精确地控制蚀刻时间、温度和压力。4500蚀刻/灰分资产利用单处理器、微型蚀刻工具和双面光控晶片处理的独特组合,提供卓越的精度和可重复性。该型号还具有快速的晶片到晶片传输速度和灵活的前端平台,可实现高效、准确的处理。该设备的高精度是其注重尺寸稳定性、水平均匀性、热管理、传感器精度和过程控制的结果。该系统非常适合蚀刻/灰化过程,因为这些过程对于可重复和专用的过程都需要卓越的一致性和可重复性。它能够生产具有单工艺可重复性的高质量、高精度晶片产品，是需要高精度和监控的应用的首选单元。