二手 LAM RESEARCH 4500i #9250092 待售

LAM RESEARCH 4500i是专门为先进的半导体器件制造而设计的干蚀刻器/灰化器。它采用三种蚀刻技术----等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）、反应性离子蚀刻（RIE）和电感耦合等离子体（ICP）的独特组合，在基材上实现了广泛的蚀刻轮廓。这种通用的蚀刻工具可用于金属闸门中的沟槽和接触蚀刻、用于STI的垫片蚀刻、大马士革和用于互连的介电蚀刻、晶圆修剪和背面蚀刻应用。4500i具有多种晶片尺寸,尺寸可达200 mm,基板温度可达300 °C。LAM RESEARCH 4500i是一种非常先进的蚀刻系统,具有许多明显的优点.它包含了广泛的技术特点，包括集成了快速四极质谱仪（QMS）、最大载荷可达26晶圆的大型石英室以及各种可用于蚀刻的工艺气体。液晶屏控制的多气体动力供应系统获得了动态过程的最佳工艺条件，内置的高性能快速冷却等离子体（RPC）发电机最大限度地减少了不需要的功率超调，最大限度地提高了工艺控制。此外,4500i还配备了压电调锁（PTL）技术,在高纵横比特性上具有卓越的工艺重复性。LAM RESEARCH 4500i是先进半导体制造的首要蚀刻/灰化工具。其令人印象深刻的一系列特性和功能提供了卓越的过程稳定性和控制,从而在更短的时间内实现了更高质量的设备制造。高度先进的过程监测和本地排气系统确保安全和清洁的处理操作。4500i具有多气体动力供应系统和压电调锁技术，是一种先进的器件制造必须具备的蚀刻和灰化解决方桉。