二手 LAM RESEARCH 4500iB #9226623 待售

LAM RESEARCH 4500iB
ID: 9226623
晶圆大小: 6"
Oxide etcher, 6".
LAM RESEARCH 4500iB 蚀刻器/asher是一种高性能的工具,用于半导体工业中的一系列蚀刻和灰化过程。它能够高速处理大模具,具有极好的可重复性和准确性。4500iB利用最先进的技术提供最高效、最可靠和最具成本效益的性能。LAM RESEARCH 4500iB采用电子回旋共振(ECR)等离子体蚀刻工艺,采用高频(35 MHz)射频发生器和高真空室,设计用于快速离子通电和传输。它还具有顶载热壁炉,以提供干燥氧化过程。4500iB设计用于处理高蚀刻速率,可以精确控制蚀刻参数,同时在整个晶片上提供卓越的均匀性。LAM RESEARCH 4500iB具有可变电源,使用户能够针对不同的晶圆应用定制其蚀刻过程。除了蚀刻和灰化,4500iB还具有冷却气体系统、动态温度控制、集成自动检测等几个特点。自动检测系统实时检测和记录过程参数,提供对蚀刻过程的详细了解。该系统在验证蚀刻结果和排除操作过程中可能发生的任何问题方面特别有用。LAM RESEARCH 4500iB的直观图形用户界面和自我诊断,以及LAM RESEARCH技术支持团队的协助,也非常方便用户。它旨在提供可重复的性能,并有助于在各种沉积批次上保持过程一致性。总体而言,4500iB蚀刻器是一种功能强大且用途广泛的半导体加工工具。它提供了多种功能来满足任何蚀刻和灰化工作的需要,并且能够以具有竞争力的价格提供卓越的蚀刻质量和准确性。
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